[发明专利]具有端子部的接合脆性基板的划线方法在审

专利信息
申请号: 202111531462.2 申请日: 2021-12-14
公开(公告)号: CN114620932A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 朴主亨;徐镛植;吕寅奎 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/07 分类号: C03B33/07;C03B33/03
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晶;刘言
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 具有端子部的接合脆性基板的划线方法,包含如下阶段:划分设定,将划线轮的行进预定路径分成预切割区间、正式切割区间、端子部切割区间;轮定位,使划线轮位于预切割区间的行进开始点;预切割区间线路形成,使位于行进开始点的划线轮加速到设定的速度;正式切割区间线路形成,使通过了预切割区间的划线轮行进,在正式切割区间形成划线线路;减速,在通过了正式切割区间的划线轮到达端子部之前使划线轮的行进速度减速;端子部切割区间线路形成,使划线轮以在减速阶段减速后的行进速度通过端子部切割区间,在端子部形成划线线路。在划线工序中,控制划线轮的基板切入深度、载荷、行进速度,能够形成正确的划线线路,防止端子部破裂。
搜索关键词: 具有 端子 接合 脆性 划线 方法
【主权项】:
暂无信息
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