[发明专利]一种氧化铟钛镱粉体及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202111536233.X 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114163216A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 李晴晴;邵学亮;李开杰;张来稳;王奇峰 申请(专利权)人: 先导薄膜材料(广东)有限公司
主分类号: C04B35/01 分类号: C04B35/01;C04B35/626;C23C14/34
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 颜希文;郝传鑫
地址: 511517 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种氧化铟钛镱粉体及其制备方法与应用,属于氧化铟掺杂粉体制备技术领域;本发明的氧化铟钛镱粉体的结构式为In1‑x‑yTixYbyO;其中,0.001≤x≤0.171,0.001≤y≤0.139;所述粉体的D50=0.402‑0.475μm,D10≥0.196μm,D90≤0.586μm,粒度分布系数P=(D90‑D10)/D50≤0.746;本发明的技术方案提供的氧化铟钛镱粉体,选择采用钛和镱作为掺杂元素掺入氧化铟粉体中,从而可以制备得到成分均一、粒径分布集中的氧化铟钛镱粉体;本发明提供的技术方案提供的氧化铟钛镱粉体的制备工艺简单、制备效率高,因此能直接应用于工业生产,制备得到的产品可用于制备高密度、高均匀度、具备优异光电特性的氧化铟钛镱靶材。
搜索关键词: 一种 氧化 铟钛镱粉体 及其 制备 方法 应用
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