[发明专利]温度调节装置在审
| 申请号： | 202111541402.9 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114647262A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 徐相宝;姜守香;申永澈;李忠禹 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供一种能够按照微区域测定以及控制温度的温度调节装置以及具备其的多区温度调节装置和多区温度调节式基板支承装置。本发明的实施例提供一种温度调节装置，包括：第一电源；第二电源，施加与所述第一电源相反的电压；电流表，串联连接于所述第二电源而测定所述第二电源的电流值；加热器部，在加热时段期间，串联连接于所述第一电源，感应第一方向的电流，从而发出热能；温度传感器部，在感测时段期间，串联连接于所述第二电源，感应与所述第一方向相反的第二方向的电流；以及开关控制器，控制所述第一电源和所述加热器部之间的连接以及所述第二电源和所述温度传感器部之间的连接。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 调节 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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