[发明专利]溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 202111548656.3 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114959595A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 黄岩;李云;史大成 | 申请（专利权）人： | 常州苏晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/03;C22C21/00;C22F1/04;C21D1/30;C22B9/04;B22D7/00;B22D18/06;B22D7/06;B22D27/04;B23P15/00 |
| 代理公司： | 常州联正专利代理事务所(普通合伙) 32546 | 代理人： | 张岳 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法，以高纯铝、铝钕中间合金为原料，称取特定比例的高纯铝和铝钕中间合金块，在真空熔炼炉中高温熔炼，再低温熔炼，真空浇铸到高纯氧化铝内衬的真空水冷模中快速冷却，得到浇铸方胚后保温并做均匀化处理，然后进行轧制，轧制后的合金板胚进行退火处理，水切割去边，机加工至合适尺寸，焊接至铜背板。本发明最终得到高质量的铝钕合金靶材，合金化程度高无中间相，平均晶粒大小不超过40um，组织均匀致密无内部缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 高纯 合金 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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