[发明专利]一种基于滤波小孔调制的波前校正装置及方法在审

专利信息
申请号: 202111552248.5 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114265199A 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 杨朋千;姜卓偲;杨雪莹;朱健强 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B27/00 分类号: G02B27/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种基于滤波小孔调制的波前校正装置及方法,具体包括波前校正器、聚焦光路、滤波小孔、成像系统、传感器和波前控制器。该装置仅利用主激光加一台传感器即可实现全系统的波前校正;本发明通过利用主激光远场加滤波小孔产生一理想点光源,该方法无需额外设置标准光源,即可实现焦点之后成像系统的系统误差标定,从而实现全链路的波前像差的精确测量和闭环校正,减少了误差来源;通过对滤波小孔施加一随机调制频率,克服了因主激光抖动带来的波前传感器无法采集均匀近场信息的问题;且该装置光路简单,体积小,调试便捷,可快速收敛得到符合要求的远场焦斑分布。
搜索关键词: 一种 基于 滤波 小孔 调制 校正 装置 方法
【主权项】:
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