[发明专利]高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构在审
| 申请号： | 202111553884.X | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114084870A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 李安华;杨晓东;王成君;薛志平;范旭利;武春晖 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构，解决了如何完成薄壳器件盖板在真空环境下精确拾取并保证盖板在放下过程中不会受冲击力而发生变形的问题。在直线电机的向下输出轴上连接一个浮动的薄壳类盖板的拾取模具，通过直线电机向下输出轴的轴端与轴端套筒的浮动配合，克服拾取模具与被拾取的薄壳类盖板之间的接触冲击力，并在浮动的拾取模具与直线电机的密封腔体下端设置波纹管管套，实现对接触冲击力的二次吸收；另外，在拾取模具与直线电机的密封腔体之间设置方形愣柱导向杆，起到了有效防止拾取模具在拾取薄壳类盖板时发生转动现象的发生，从而大大提高了拾取的定位准确率，为后续工艺进行奠定了定位基础。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 状态 下薄壳 器件 盖板 组合式 拾取 机构 | ||
【主权项】：
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