[发明专利]一种芯片清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 202111555933.3 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114247685B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 张啸云;刘仁 | 申请（专利权）人： | 张家港声芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片清洗装置及清洗方法，该清洗方法包括两个步骤：1）冲洗，打开第一进水管，对芯片表面进行冲洗，冲洗时间少于20s，冲洗压力控制在2‑3kg之间；2）浸泡，关闭第一进水管，停止对芯片表面的冲洗，而后打开清洗槽底部的第二进水管和进气管，在进水的同时向清洗槽内通入高纯二氧化碳气体进行浸泡，浸泡至清洗槽溢流，进水流速控制在16±0.5L/min，二氧化碳气体的流量控制在2±0.5ml/s间，步骤1）与步骤2）循环交替。整个清洗过程简单，能在确保芯片被清洗干净的同时，不会造成芯片表面的铝金属被腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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