[发明专利]真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备在审
| 申请号： | 202111557134.X | 申请日： | 2021-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN114324546A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 董显山;周斌;赖灿雄;黄云;恩云飞;尧彬;肖庆中;黄权;李键珂 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N33/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑彤 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备。上述真空封装器件内部气氛的检测方法通过将真空封装器件置于气密容器中，并破坏真空封装器件的气密性，使真空封装器件的内部气氛与气密容器的内部气氛混合，使真空封装器件内部极少的气氛混合进足够多的气氛中。气密容器的内部气压高于真空封装器件的内部气压，可以用常规方法对混合气氛进行检测，由于气密容器的内部气氛已知，检测出混合气氛后，即能够推算出真空封装器件的内部气氛的成分及其含量。上述检测方法可以打破现有检测设备的局限，实现对真空封装器件内部气氛的定量测试，可有效支撑真空封装器件工艺的提升以及DPA、失效分析、机理分析可靠性研究等工作。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 封装 器件 内部 气氛 检测 方法 气密 容器 设备 | ||
【主权项】：
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