[发明专利]一种可调光谐振器有效
| 申请号： | 202111558139.4 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN113946014B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;董旭光 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210046 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种可调光谐振器包括：光谐振器结构和频率调节结构。所述光谐振器结构，包括：光输入结构、光谐振器、光输出结构。其中，光谐振器位于光输入结构和光输出结构中间位置。光输入结构和光谐振器之间、以及光输出结构和光谐振器之间相互靠近。所述频率调节结构，包括：衬底、锚区、下电极、可动上电极和吸合阻挡梁。其中，下电极和锚区都置于衬底上；可动上电极置于锚区上；光输入结构、光谐振器和光输出结构置于可动上电极上；吸合阻挡梁置于可动上电极下。本发明所提出的技术方案，与加热器调节相比，静电调节方式功耗非常低；静电调节方式，响应速度比热式调节更快；静电调节方式结构简单、可靠性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调光 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京高华科技股份有限公司，未经南京高华科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111558139.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
