[发明专利]一种金刚石表面定向刻蚀方法在审
申请号: | 202111570010.5 | 申请日: | 2021-12-21 |
公开(公告)号: | CN114472882A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 陈卫民;黄灵利;杨西滨;王力群 | 申请(专利权)人: | 山东昌润钻石股份有限公司 |
主分类号: | B22F1/12 | 分类号: | B22F1/12;C09K13/00;C22C29/00;C22C29/12;C22C38/06;C22C38/10;C22C38/14 |
代理公司: | 上海茸恒专利代理事务所(特殊普通合伙) 31408 | 代理人: | 袁威 |
地址: | 252000 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: |
本发明公开了一种金刚石表面定向刻蚀方法,分别取Fe、Ni、Co、Ti、Al五种金属的一种或多种以及MnO |
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搜索关键词: | 一种 金刚石 表面 定向 刻蚀 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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