[发明专利]一种用于电路板孔金属化的立式传动装置有效
申请号: | 202111571732.2 | 申请日: | 2021-12-21 |
公开(公告)号: | CN114340216B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 武斌功;肖龙;宗克诚;柳龙华;蔡若凡;满慧;范冬勤 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
主分类号: | H05K3/42 | 分类号: | H05K3/42 |
代理公司: | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人: | 何梓秋 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于电路板孔金属化的立式传动装置,属于真空设备技术领域,包括运输组件模块、导轨模块、偏压上电模块、动力传输模块、腔体支撑模块。本发明通过偏压上电模块和运输组件模块的设置,可以实现溅射过程中,PCB板移动时能持续稳定加持工作电压,保证孔膜层的均匀性和深度,且传动装置与真空腔室良好绝缘无短路现象;通过运输组件模块的设置,还可以适应不同厚度的PCB板,且方便拆卸更换;传动装置为立式布置,腔室其他地方的被镀物不会掉落到PCB板上,降低清理的成本,且立式布置方便实现PCB板双面镀孔,更容易实现深径比大的孔的导通。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 电路板 金属化 立式 传动 装置 | ||
【主权项】:
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