[发明专利]一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液在审
| 申请号： | 202111573182.8 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114318339A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陈浩;李华平;王润杰 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于金属蚀刻技术领域，特别涉及一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液，由以下质量百分含量的组分组成：1‑5wt％硝酸、1‑5wt％螯合剂和余量的去离子水。本发明放弃了使用双氧水，且不含氟，安全性高，蚀刻液组分简单，成本低，蚀刻液的使用寿命长，能够更好地满足FPD行业高精度蚀刻加工的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 pfd 行业 铜合金 蚀刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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