[发明专利]一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法在审
| 申请号： | 202111573969.4 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114527173A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 彭小燕;陈家正;王顺;褚金 | 申请（专利权）人： | 西南大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;G01N27/416;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;G06N20/00 |
| 代理公司： | 重庆缙云专利代理事务所(特殊普通合伙) 50237 | 代理人： | 王翔 |
| 地址： | 400715*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种阵列式气体传感器及智能气体检测方法。其制备方法是在传感器衬底上制备出n列×m行，共nm个磁控溅射孔位和电极；采用掩模版B1～掩模版Bn依次覆盖于处理过的传感器衬底上，并依次采用n种溅射材料，通过磁控溅射将n种不同溅射材料分别生长到n列磁控溅射孔位上；再采用掩模版C1～掩模版Cm‑1依次覆盖于处理过的传感器衬底上，并依次采用m‑1种溅射材料，通过磁控溅射分别生长到磁控溅射孔位上，值得具有nm个阵列单元的阵列式气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 气体 传感器 智能 检测 方法 | ||
【主权项】：
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