[发明专利]LED外延结构及其制备方法、LED芯片及其制备方法在审
申请号: | 202111581006.9 | 申请日: | 2021-12-22 |
公开(公告)号: | CN114497298A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 薛龙;李森林;杨美佳;毕京锋 | 申请(专利权)人: | 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/30;H01L33/00;H01L33/36 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 甄丹凤 |
地址: | 361012 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 公开了一种LED外延结构及其制备方法、LED芯片及其制备方法,所述LED外延结构包括:衬底;位于所述衬底上的N型半导体层;位于所述N型半导体层上的多量子阱;以及位于所述多量子阱上的P型半导体层;其中,所述P型半导体层包括P型过渡层、P型窗口层以及位于二者之间的中间层,所述中间层的晶格常数与所述P型窗口层和所述P型过渡层的晶格常数相匹配。本发明提供的LED外延结构及LED芯片,在P型过渡层与P型窗口层之间引入中间层,中间层为多层渐变式结构,实现P型过渡层与P型窗口层之间的晶格常数逐渐改变,以减少突变式结构生长过程中的缺陷,改善晶体质量。 | ||
搜索关键词: | led 外延 结构 及其 制备 方法 芯片 | ||
【主权项】:
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