[发明专利]掩模组件以及制造该掩模组件的方法在审
| 申请号： | 202111587120.2 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114657508A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 金洸炫;河宪植;全祐奭 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 史迎雪;王琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及掩模组件以及制造该掩模组件的方法。该方法包括：形成包括掩模图案的单元掩模以及包括被设置为分别与掩模图案相对应的导电图案的网格框架，并且将单元掩模和网格框架设置在掩模框架上。形成单元掩模和网格框架包括：形成聚合物层、导电层和硬掩模层，形成包括蚀刻图案的掩模图案层，并且使用掩模图案层形成单元掩模和网格框架。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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