[发明专利]一种电子束光刻胶的制备方法在审
| 申请号： | 202111594719.9 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114217506A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘颂军;孙炜;冯亚楠;贾成林;吕国文;郭双环;孔星 | 申请（专利权）人： | 沧州信联化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人： | 赵慧斌 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子束光刻胶的制备方法，包括感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂。本发明中将感光原料、树脂原料、引发剂和溶剂等原料按照一定比例导入混合搅拌设备中，搅拌温度维持在三十至五十摄氏度，搅拌时间维持在一至二小时；搅拌完成后，将搅拌混合物导入反应釜中静置，静置时间维持在三至五小时，静置前在釜中填充氮气进行保护，能够充分反映，保证光刻胶的质量，静置完成后将混合原料导入过滤设备中，过滤前在过滤设备中充入氮气进行保护，过滤设备采用纳米纤维滤材；一次过滤后进行取样检测，如未达到质量要求，则进行二次过滤，当达到质量要求后导入灌装设备中进行灌装，灌装时保持氮气填充保护，能够全程保护光刻胶的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束光刻 制备 方法 | ||
【主权项】：
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