[发明专利]一种化学真空泵在审
| 申请号： | 202111598537.9 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114278533A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 朱秀洁 | 申请（专利权）人： | 朱秀洁 |
| 主分类号： | F04B27/00 | 分类号： | F04B27/00;F04B37/14;F04B37/18;F04B39/12;F04B39/16 |
| 代理公司： | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人： | 刘娅 |
| 地址： | 271200 山东省泰*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学真空泵，可用于抽吸夹带有粉尘颗粒或可凝性物质的腐蚀性化学气体，并提供高真空或超高真空环境，包括驱动腔和设在驱动腔两侧的两个气缸，气缸的内壁设有防腐层；气缸的两端分别设有外缸盖和内缸盖；内缸盖与驱动腔左右两侧的侧板固定连接；气缸内设有与其内壁滑动密封的活塞；活塞通过一贯穿内缸盖的活塞杆与驱动组件固定连接；活塞杆与内缸盖之间滑动密封配合；活塞将相应气缸的内腔分隔为独立的外气室和内气室；外气室内设有旋风板一，其与外缸盖形成外旋风室；内气室内设有旋风板二，其与内缸盖形成内旋风室；外旋风室和内旋风室的侧壁上分别设置有与气缸的缸壁相切的进气阀和出气阀，进气阀和出气阀均为单向阀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 真空泵 | ||
【主权项】：
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