[发明专利]一种体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111598990.X | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114389565A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人： | 杭州星阖科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 310016 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种体声波谐振器及其制造方法。该谐振器包括形成有声波反射结构的衬底、依次形成在所述声波反射结构上方的底电极层、压电层和顶电极层；从压电层投影到衬底的角度来看，压电层的至少部分区域具有断裂区域，断裂区域具有相对的第一边缘和第二边缘，第一边缘不超过顶电极层的边缘，第二边缘延伸至底电极层的边缘以外，断裂区域内含有不同于构成压电层的材料的轰击离子。本发明通过对声波反射结构的内部延伸至底电极边缘以外的区域的压电层，在一定深度上进行离子轰击，使该区域压电晶体的分子键断裂，来降低或者消除导通效应，可以大大减小谐振器在该区域产生的寄生振荡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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