[发明专利]一种控制拉晶过程温度一致性的方法在审
申请号: | 202111605802.1 | 申请日: | 2021-12-25 |
公开(公告)号: | CN116334742A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 赵国伟 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种控制拉晶过程温度一致性的方法,包括:在稳温过程中,监测硅溶液液面温度,判断硅溶液液面温度是否满足第一预设条件;若是,若是,判断液面温度从初始温度至所测得的液面温度过程中的温度变化值是否满足第二预设条件;若是,则根据所测得的液面温度调整热场温度,使得热场温度接近或等于所测得的液面温度;计算热场系数;根据热场系数调节稳温工序后的任一时间点的热场温度变化值。本发明的有益效果是根据热场系数和拉晶系统中设定的液面温度变化值调整热场温度变化值,保证不同单晶炉在保温性不同的情况下能够完全保证拉制单晶过程中温度的一致性,避免因热场保温性差异导致的升降温幅度不同而在拉晶过程中导致温度不稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 控制 过程 温度 一致性 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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