[发明专利]一种半导体级氨水的制备方法在审
| 申请号： | 202111607197.1 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN114272632A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘颂军;孙炜;吕国文;冯亚楠;杨杰;郭双环;金旭 | 申请（专利权）人： | 信联电子材料（山东）有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;C01C1/02 |
| 代理公司： | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人： | 刘飞 |
| 地址： | 253011 山东省德州市德城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体级氨水的制备方法，包括液氨、减压设备、精馏设备、热回收设备、二次精馏设备、冷凝设备和过滤设备。本发明中减压设备连接精馏设备，进行初步加热精馏，精馏后通过冷凝设备进行冷却，热回收设备回收加热精馏热能，进行一定加热回温；初步加热精馏氨水进入二次精馏设备中进行二次加热精馏，热回收设备回收热能进行一定加热回温后连接二次加热精馏设备中进行加热提供热能，二次精馏后通过冷凝设备再次冷凝，得到精馏氨水，能够有效回收利用热能，只需要少量加热，即可完成后续加热，更加节能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 氨水 制备 方法 | ||
【主权项】：
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