[发明专利]一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法在审

专利信息
申请号: 202111608159.8 申请日: 2021-12-24
公开(公告)号: CN114279895A 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 刘帅;杜晓辉;朱敏杰 申请(专利权)人: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
主分类号: G01N11/16 分类号: G01N11/16;G01N11/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李世阳
地址: 100055 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法,该测量系统包括:直流供电模块采用外部24V直流供电,用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电;直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD,并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构;微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号,并输送至温度采集及数据处理模块;温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析,得到被测流体粘度密度参数。利用本公开,由于能够同时实现微机电谐振式粘度传感器谐振频率和谐振Q值的测量,进而能够实现流体粘度的测量。
搜索关键词: 一种 用于 微机 谐振 粘度 传感器 测量 系统 方法
【主权项】:
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