[发明专利]滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111625208.9 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116366024A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 吴明;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/56 | 分类号： | H03H9/56;H03H9/58;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京允天律师事务所 11697 | 代理人： | 李建航 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了滤波器及其制造方法。根据本公开的滤波器包括：中心谐振器；以及至少一个环形谐振器，其围绕中心谐振器设置并且电连接到中心谐振器，其中中心谐振器和至少一个环形谐振器均包括沿竖直方向依次设置的下电极、压电层和上电极，并且在中心谐振器和/或至少一个环形谐振器的下电极中设置有声反射结构。根据本公开的滤波器及其制造方法，通过以嵌套的方式设置滤波器的多个谐振器，能够在不增加工艺复杂度的情况下提高滤波器的集成度并且减小滤波器的体积。此外，通过在滤波器的每个谐振器的下电极中设置声反射结构，可以提高滤波器的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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