[发明专利]一种异质结电池双制绒清洗工艺及装置在审
| 申请号： | 202111629192.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114335247A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 刘振波;郭小勇;叶文宇;刘心永 | 申请（专利权）人： | 湖州爱康光电科技有限公司;浙江爱康光电科技有限公司;江苏爱康科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州市长兴县煤山镇*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种异质结电池双制绒清洗工艺及装置，属于光伏行业高效电池制造的技术领域。本发明中沿水平依次设置了二十个槽位，并在每个槽位中对应单独的工艺，使在制绒工艺的过程中，各槽位功能更专一，达到的效果更好；同时，还将制绒工艺设置为双制绒流程，分别在两个制绒槽中进行两次制绒，避免了现有工艺中部分硅片反应剧烈，部分硅片反应较慢，在同一制绒槽难以实现硅片均匀反应的现象，从而使金字塔更加均匀，绒面更整齐。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 电池 双制绒 清洗 工艺 装置 | ||
【主权项】：
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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