[发明专利]粉尘收集装置及抽真空系统在审
| 申请号： | 202111629450.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114288793A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 杨立华;缪敏敏;李炯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/20 | 分类号： | B01D50/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉尘收集装置及抽真空系统，该粉尘收集装置包括粉尘收集罐体，其上端具有能够装配在冗余管道上并与冗余管道相连通的开口，其下端未封闭或未完全封闭；阻流板，为拱起结构，设置在粉尘收集罐体的内部，阻流板的边缘与粉尘收集罐体的内壁之间留有间隙；过滤器，位于阻流板的下方设置在粉尘收集罐体的内部，过滤器将粉尘收集罐体分隔为粉尘处理室和粉尘收集室，粉尘处理室和粉尘收集室分别位于过滤器的上下方；舱盖，可拆卸连接在粉尘收集罐体的下端。本发明能够防止真空泵机的回抽造成失效风险，确保机台的正常运行，具有粉尘清理方便、清理效率高、清理难度低、清理成本低的优点，不会造成环境污染，避免了对洁净室的洁净度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 粉尘 收集 装置 真空 系统 | ||
【主权项】：
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