[发明专利]一种基于碳化硅拉曼散射半高峰的温度测量方法及系统在审

专利信息
申请号: 202111629595.3 申请日: 2021-12-28
公开(公告)号: CN114184303A 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 刘德峰;李欣;杨羽;张守超;高云端;黄漫国 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所;天津城建大学
主分类号: G01K11/324 分类号: G01K11/324
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 赵兴华
地址: 101111*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种基于碳化硅拉曼散射半高峰的温度测量方法及系统,包括:对碳化硅晶体进行中子辐照,得到辐照碳化硅晶体;对所述辐照碳化硅晶体进行若干个退火温度的退火处理,得到退火碳化硅晶体;基于拉曼光谱仪获取所述退火碳化硅晶体的P个拉曼图谱;P为大于1的正整数;获取每个所述拉曼图谱在设定频移位置处的特征峰半高宽值;基于每个所述特征峰半高宽值得到半高宽随温度变化的拟合曲线;获取经过中子辐照后的碳化硅晶体在待测位置处的实时拉曼图谱,基于所述实时拉曼图谱,结合所述拟合曲线,得到待测位置的温度值。本发明具有测量精度高和测量速度快的优点,同时提高了温度测量上限,能适应各种超高温测量场景。
搜索关键词: 一种 基于 碳化硅 散射 高峰 温度 测量方法 系统
【主权项】:
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