[发明专利]静电放电防护器件及其形成方法在审
| 申请号： | 202111630341.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116364709A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 彭昀鹏;赵连国;张红丹;陈建;石缚凤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 唐嘉 |
| 地址： | 518118 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种静电放电防护器件及其形成方法，其中结构包括：位于所述衬底内的第一阱区，所述第一阱区具有第二导电类型，所述第一阱区内具有第一引出区，所述第一引出区具有第一导电类型，所述第一引出区与所述第一保护环电连接；位于所述衬底内，且与所述第一阱区相邻的第二阱区，所述第一阱区和所述第二阱区相互分立，所述第一阱区与所述第二阱区之间具有放电区，所述第二阱区具有第一导电类型；位于所述放电区表面的介质层，所述介质层还延伸至部分所述第一引出区和所述第二阱区表面；位于所述介质层表面的第一导电接触层；位于所述第一引出区表面的第二导电接触层，所述第二导电接触层与所述第一导电接触层电连接，提高器件放电能力和开启电压。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 放电 防护 器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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