[发明专利]一种梯形结构顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法在审
| 申请号： | 202111633280.6 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114195989A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王雪枫;肖楠;王静;宋里千;毛鸿超 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C08G61/12 | 分类号： | C08G61/12;C09D165/00 |
| 代理公司： | 厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282 | 代理人： | 张东明 |
| 地址： | 363100 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明属于光刻技术领域，公开了一种梯形结构的顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法。本发明提供的梯形结构顶部抗反射涂层聚合结构式如式(1)所示，其中，R |
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| 搜索关键词： | 一种 梯形 结构 顶部 反射 涂层 聚合物 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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