[发明专利]一种三跑道全刻蚀平面靶在审
| 申请号： | 202111634865.X | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114293163A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 谢学东 | 申请（专利权）人： | 丹阳市宝来利真空机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 | 代理人： | 田炜娜 |
| 地址： | 212300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三跑道全刻蚀平面靶，本发明由真空底板和靶底座等组成，所述三跑道全刻蚀平面靶还包括：靶旋转机构，设在真空底板上，用于控制平面靶旋转，所述靶旋转机构包括贯通固定在真空底板上的真空密封旋转装置，所述真空密封旋转装置包括外壁固定贯通在真空底板上的轴套，轴套内部中心转动连接中心转轴，中心转轴远离靶底座的一端延出到轴套外部设置驱动模块，用于驱动中心转轴转动；以及组靶机构，设在靶底座上。通过本发明设计的一种三跑道全刻蚀平面靶，能够真正实现了靶面全刻蚀，沉积速率高，靶材利用率可达80％，运行费用低，减少换靶频次，同时均匀度也大幅提高，并且散热高效，有效延长平面靶的使用时间，为平面靶应用技术拓展更广阔的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 跑道 刻蚀 平面 | ||
【主权项】：
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