[发明专利]一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器有效
| 申请号： | 202111635571.9 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114509174B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋洪川;台洪日;徐睿良;李立凯;赵晓辉;邓新武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/12 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种陶瓷电极塞式火工品桥区温度测量用薄膜传感器，属于薄膜温度传感器设计与集成制备技术领域。所述薄膜传感器包括自下而上依次设置的陶瓷电极塞、绝热层、薄膜热电偶敏感层、绝缘层和火工品薄膜五层结构，以及薄膜热电偶正极引线、薄膜热电偶负极引线、火工品桥区正极引线、火工品桥区负极引线四个引线。本发明采用MEMS工艺，将薄膜热电偶传感器、火工品桥区集成在陶瓷电极塞上，首次实现了火工品桥区瞬态温度的接触式测量；与传统的原子发射光谱双谱线法的非接触式测温相比，测温精度大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 电极 塞式火工品桥区 温度 测量 薄膜 传感器 | ||
【主权项】：
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