[发明专利]阻抗匹配网络调节方法在审
| 申请号： | 202111640705.6 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114499435A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;张桂东 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38;H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括：所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号，所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号；所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗，无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗，缩短了阻抗匹配的流程，从而提高阻抗匹配的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 网络 调节 方法 | ||
【主权项】：
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