[发明专利]一种用于提升LED器件光提取效率的边际湿法处理方法在审
| 申请号： | 202111643670.1 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114420815A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 邓信甫;刘大威;陈丁堃 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/24 | 分类号： | H01L33/24;H01L21/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及LED器件生产技术领域，具体涉及一种用于提升LED器件光提取效率的边际湿法处理方法，包括：步骤S1：于一基板上形成多个所述LED器件；步骤S2：于所述LED器件的部分表面形成牺牲层，对所述LED器件进行蚀刻，于所述LED器件的侧面形成斜面；步骤S3：对所述LED器件采用第一清洗方法进行清洗，随后对所述LED器件进行干燥处理以完成处理过程。本发明的有益效果在于：通过对LED器件的侧面形成一斜面，减少了LED器件内的全反射光纤，进而提高了LED器件的光提取效率，实现了较现有技术更高的发光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提升 led 器件 提取 效率 边际 湿法 处理 方法 | ||
【主权项】：
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