[发明专利]一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极及更换靶材的方法在审
| 申请号： | 202111646259.X | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114318265A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李成;汪建;杜寅昌;程厚义;赵巍胜;张悦 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230013 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的一种可快速更换靶材的磁控溅射阴极及更换靶材方法，包括靶材安装座及靶材位于烟囱压紧装置和磁箍冷却组件之间，烟囱压紧装置安装在腔体安装法兰上，磁箍冷却组件穿过腔体安装法兰与伸缩驱动机构连接，伸缩驱动机构另一端安装在腔体安装法兰上。更换靶材时，伸缩驱动机构驱动下，磁箍冷却组件下移，利用磁控溅射设备自带的传样系统抓取靶材安装座边上的支耳，从阴极屏蔽罩侧边取出靶材安装座及其中的靶材后送至传样系统的腔室内；再利用传样系统将腔室内的新靶材安装座及靶材送到原磁箍冷却组件正上方，使烟囱压紧装置压住靶材安装座。该发明在不破坏主真空腔真空环境下，实现快速换靶，大幅降低更换靶材的时间，也减少了主真空腔的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 更换 磁控溅射 阴极 方法 | ||
【主权项】：
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