[发明专利]一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备

摘要

本发明公开了一种上部穿腔、一种下部穿腔及一种穿腔设备，其中所述上部穿腔具有沿着所述上部穿腔的顶端面向下凹陷形成的上部凹腔，上部管路贯穿上部凹腔并伸入上部穿腔的内腔，上部管路位于上部凹腔内的部分与上部凹腔的侧壁之间具有间隙。本发明通过改变上部穿腔和下部穿腔的结构，从而来削弱上部管路与上盖板之间以及下部管路与固定件之间的热传递，同时增大了加热源，如此便防止了气体冷凝，防止了晶圆报废，从而避免了更换气体管路，节省了人力、财力，同时提高了机组设备的作业效率。