[发明专利]一种微型微弱带电粒子束流探测装置在审
| 申请号： | 202111648737.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114355432A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 黄良玉;王银涛;牛犇;何贞岑;江紫环;刘佳林;傅云清;姚科 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H01J47/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微型微弱带电粒子束流探测装置，包括：电子抑制极，用于抑制二次电子；束流吸收极，用于吸收带电粒子束流；信号放大极，用于产生二次放大的电子流；信号吸收极，用于探测吸收总的放大电流信号；电子抑制极、束流吸收极、信号放大极和信号吸收极分别为沿迎面带电束流方向依次设置，探测装置的工作环境为真空环境。与现有技术相比，本发明具有探测精度高、生产成本低、易于加工等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 微弱 带电 粒子束 探测 装置 | ||
【主权项】：
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