[发明专利]伯努利夹盘可靠性的测试方法在审
| 申请号： | 202111649531.X | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116412753A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 贾福金;王文军;张晓燕;邓雪飞;韩阳;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陶玉龙;陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出的伯努利夹盘可靠性的测试方法，先通过激光位移计对伯努利夹盘的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘本身结构和装配对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，再通过激光位移计对伯努利夹盘夹持测试片作业时测试片的水平和跳动进行检测，排除伯努利夹盘气路对伯努利夹盘的水平和跳动性能的影响，采用该方法对伯努利夹盘可靠性进行测试，一方面有效简化了操作流程，另一方面提高了伯努利夹盘测试和检修的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 伯努利夹盘 可靠性 测试 方法 | ||
【主权项】：
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