[发明专利]一种硅片夹取装置在审
| 申请号： | 202111657439.8 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114180339A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 董晓清 | 申请（专利权）人： | 无锡市江松科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 郭慧 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种硅片夹取装置。本发明包括安装座，安装座上设置有轨道，轨道上对称设置有滑块，安装座上位于所述轨道两端设置有导轮，导轮上设置有传动带，滑块上设置有与传动带啮合的啮合板，安装座上设置有驱动导轮旋转的电机，滑块上设置有第一安装板和第二安装板，第一安装板和第二安装板上分别设置有第一吸盘和第二吸盘，第一吸盘和第二吸盘上均设置有气源连接口。本发明结构合理、简单，操作便捷，将外部气源与气源连接口进行连接，通过第一吸盘和第二吸盘对硅片进行吸取，电机驱动滑块在轨道上进行移动，最后将硅片放置在石英舟中，避免了夹爪对硅片的损坏，大大的降低了生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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