[发明专利]工件载具的传送装置在审
| 申请号： | 202111665538.0 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114351091A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 张继凡;何涛;朱磊;周健 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 沈自军 |
| 地址： | 239200 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了工件载具的传送装置，包括：外框，所述外框的内部围拢形成工作空间；内框，位于所述工作空间内；传送轮组件，设置在所述内框中用以传送工件载具；升降驱动组件，安装于所述外框、且作用至所述内框的底部；第一导向机构，作用于所述外框和所述内框之间引导所述内框的升降。所述传送装置能够实现对工件载具的精准移动，提高工件加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 传送 装置 | ||
【主权项】：
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