[发明专利]蒸镀掩模清洗装置以及蒸镀掩模清洗方法在审
| 申请号： | 202111665950.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114763599A | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 金栽丰;姜爀;安昶昱;洪宰敏 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;B08B3/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种蒸镀掩模清洗装置以及蒸镀掩模清洗方法。蒸镀掩模清洗装置包括：处理水缸，盛装浸泡蒸镀掩模的处理水；处理水产生部，将处理水供应于所述处理水缸；处理水供应配管，连接所述处理水缸和所述处理水产生部；以及泡沫产生部，配置于所述处理水供应配管，并使得所述处理水中产生泡沫，所述处理水包括臭氧水、氢水、氨氢水以及碳酸水中的至少一种，所述泡沫包括气泡直径为50μm以下的微泡沫以及气泡直径为1μm以下的纳米泡沫中的至少一种。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 清洗 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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