[发明专利]用于多次加料直拉单晶工艺的加料装置、方法在审
| 申请号： | 202111667746.4 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114318501A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 汪晨;张华利;周声浪;宋亚飞;赵玉兵;周洁 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王南杰 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于多次加料直拉单晶工艺的加料装置、方法。上述加料装置具有加料筒，加料筒具有相对设置的进料端以及出料端，加料筒的侧壁上设有第一气孔，第一气孔具有进气口以及出气口，第一气孔用于自加料筒的外部向加料筒的内部吹送气体，第一气孔的出气口的出气方向偏向进料端。加料时，自加料筒的进料端加入硅料，在加入硅料的同时，通过第一气孔向加料筒的内部吹送气体，形成朝向进料端的气流。气流将纳米级或微米级细小料及时从加料筒的进料端排出，从而避免细小料随着复投过程而进入单晶热场内，而导致污染热场、降低晶棒品质的问题。使用上述加料装置进行加料，能够提高引放成活率以及整棒率，减少断线率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多次 加料 直拉单晶 工艺 装置 方法 | ||
【主权项】：
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