[发明专利]一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法在审
| 申请号： | 202111668690.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114198981A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 王兆敏 | 申请（专利权）人： | 天津海嘉斯迪新材料合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | F25J3/02 | 分类号： | F25J3/02;C25B1/245;C25B15/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王苗苗 |
| 地址： | 300450 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及电解制氟技术领域，提供了一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法。本发明提供的设备包括制氟电解槽、除渣装置、低压罐、HF低温冷凝系统、氟气压缩机、氟气预冷器和氟气精馏塔；氟气精馏塔的塔顶设置有塔顶冷凝器，塔釜设置有塔釜再沸器，塔顶冷凝器的出口与氟气储罐连通，塔釜再沸器的出口与氢氟酸回收装置连通；HF低温冷凝系统包括若干个串联的HF低温冷凝器，且HF低温冷凝器底部设置有HF液体出口，所述HF液体出口与HF回收装置连通。本发明提供的设备能够采用冷凝+精馏的模式对粗品氟气进行提纯，纯化效率高，且设备结构简单，适合工业化、连续化生产，所得氟气的纯度可以达到4N以上，能够满足半导体行业的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 高纯 氟气 精制 纯化 设备 方法 | ||
【主权项】：
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