[发明专利]一种用于基板减薄的清洗方法及清洗装置有效
| 申请号： | 202111672103.9 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114472278B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;付永旭;王江涛;赵德文;路新春 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00;B24B1/00;B24B27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于基板减薄的清洗方法及清洗装置，所述清洗方法包括：水平移动部驱动第一清洗单元水平移动至待清洗基板上侧，第一清洗单元的刷体抵接于吸盘工作台顶面的基板；驱动部的旋转机构驱动第一清洗单元旋转，刷体清除基板上的颗粒，喷嘴朝向基板以及刷体与基板的接触处喷射流体，以冲洗基板顶面的颗粒；第二清洗单元的修整体与待清洗吸盘工作台抵接；驱动部的旋转机构驱动第二清洗单元旋转，第二清洗单元的修整体磨削吸盘工作台，第二清洗单元的刷体清除吸盘工作台顶面的颗粒，喷嘴朝向吸盘工作台以及刷体与吸盘工作台的接触处喷射流体，以冲洗吸盘工作台顶面的颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 基板减薄 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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