[发明专利]一种利用化学气相沉积法包覆阻燃性膜层的方法在审
| 申请号： | 202111673159.6 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114318292A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 朱英明;梁斌;郑大为;付鹏程;刘胜强;吴可荆;鲁厚芳 | 申请（专利权）人： | 中储粮成都储藏研究院有限公司;四川大学 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/24;B05D7/24 |
| 代理公司： | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人： | 陈慕华 |
| 地址： | 610091 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用化学气相沉积法包覆阻燃性膜层的方法，所述方法包括：(1)向反应器内通入惰性气体进行吹扫；(2)吹扫结束后，向反应器内通入由惰性气体稀释的硅基前驱体，真空条件下在基底材料表面沉积硅膜层。优选的，所述方法还包括继续向反应器中通入反应气，在硅膜层表面形成Si‑O键，并且形成活性位点，为沉积阻燃层提供更好的吸附环境。最后通入雾化后的含阻燃成分溶液沉积阻燃层，获得具有良好阻燃性能的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 化学 沉积 法包覆 阻燃 性膜层 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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