[发明专利]一种半导体废气处理设备进气口的新型自吸气防堵装置在审
| 申请号： | 202111675072.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114321540A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 崔汉博;崔汉宽 | 申请（专利权）人： | 上海高生集成电路设备有限公司 |
| 主分类号： | F16L41/03 | 分类号： | F16L41/03;F16L55/24;F17D3/01;F17D3/12;B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人： | 葛瑛 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体废气处理设备进气口的新型自吸气防堵装置，包括自吸气式进气管，自吸气式进气管包括位于上方的上管体和位于下方的下管体，上管体与下管体之间通过螺栓固定且两者的连接处形成有缓冲腔道，上管体的两侧对称开设有导入口一、导入口二，导入口一内置有气压传感器，下管体的一侧开设有导入口三，缓冲腔道的内部活动设置有旋转内环，旋转内环的正上方设置有上环，上环活动安装于上管体的顶部且与旋转内环之间垂直安装有四组清洁机构。本发明所设计的废气处理设备进气口结构通过通入N2，在管壁内侧形成无死角的高速气流，高速向下的气流在进气口处会形成向下的吸力，从而保证了进气口的堵塞问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 废气 处理 设备 进气口 新型 吸气 装置 | ||
【主权项】：
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