[发明专利]光刻加工系统及方法在审
| 申请号： | 202111675220.0 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114326327A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 徐少林;乔靖宇;黄佳旭;徐康;黄凌羽 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 洪铭福 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光刻加工系统及方法，本申请的光刻加工系统包括光源模块、能量调节模块、光束调制模块、光束整形模块、聚焦模块和位移模块。能量调节模块与光源模块耦合连接；光束调制模块与能量调节模块耦合连接；光束整形模块与光束调制模块耦合连接；聚焦模块与光束整形模块耦合连接，其中，聚焦模块包括平凸柱面透镜；位移模块用于带动待加工样品移动。本申请通过光束整形模块和聚焦模块的处理，能够获得能量均匀分布、面积更大的线光源，从而能够对待加工样品进行均匀烧蚀，能够提高加工效率；同时，利用位移模块带动待加工样品移动，以对下一区域进行加工，从而能够实现大面积微纳结构的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
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