[发明专利]体声波器件及其制作方法在审
| 申请号： | 202111676881.5 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114465588A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 项少华;王冲;陈国基;刘国安 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郭凤杰 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波器件及其制作方法，其中体声波器件的制作方法包括：提供基底，基底具有发射器件区与接收器件区；于基底上形成第一功能层，第一功能层至少覆盖发射器件区与接收器件区；于第一功能层上形成刻蚀停止层；于刻蚀停止层上形成第二功能材料层；基于刻蚀停止层，去除对应接收器件区的第二功能材料层，剩余的第二功能材料层构成第二功能层，第二功能层与第一功能层共同形成功能结构层，体声波器件的压电层或者底电极层或者顶电极层包括该功能结构层。本申请可以有效降低体声波器件的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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