[发明专利]一种旋涡机构及复合分子泵在审
申请号: | 202111681457.X | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN114352553A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 张浩;李兵;李赏 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/32;F04D29/54 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 汤荞赫 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及分子泵技术领域,具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵,旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子,旋涡转子适于与驱动轴连接,旋涡定子适于与壳体本体连接,旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道,在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片,在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽,导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置,可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流,增气流压强,提高压缩比,同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况,提高抽真空效率和真空度。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋涡 机构 复合 分子 | ||
【主权项】:
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