[实用新型]一种蒸镀坩埚保温盖及蒸镀坩埚

摘要

本实用新型提供了一种蒸镀坩埚保温盖及蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚保温盖包括盖板，所述盖板包括第一表面与第二表面，所述第一表面与第二表面相对设置，在所述第一表面的边缘处设有固定凸起形成固定凹槽，在所述第二表面的边缘处设有承接凸起形成承接凹槽，在所述盖板上开设有≥1个贯通孔。在实际使用过程中，先将坩埚本体与坩埚盖固定连接，再将坩埚盖嵌入蒸镀坩埚保温盖的固定凹槽内完成两者的固定连接，使得坩埚盖的上表面覆盖着带有承接凹槽的蒸镀坩埚保温盖，不仅可以防止蒸镀过程中镀膜材料泄漏并沿着坩埚盖和坩埚本体流到机台内部，引起机台的污染，还可以起到保温作用，有效保证坩埚内部的温度均匀稳定。