[实用新型]一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置有效

专利信息
申请号: 202120006734.6 申请日: 2021-01-04
公开(公告)号: CN214937789U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 张敏;刘小强 申请(专利权)人: 洛阳微米光电技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;B08B6/00
代理公司: 北京久维律师事务所 11582 代理人: 邢江峰
地址: 471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及光学镜片技术领域,尤其是公开了一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,包括无尘箱,所述无尘箱内部固定有回旋输送链,所述回旋输送链上等间距固定有若干个夹持装置,所述无尘箱中部向上凸起,所述无尘箱凸起的腔体内顶部通过螺钉固定有一对新膜固定转筒,每个所述新膜固定转筒下方设置有一组导向装置,所述无尘箱底部通过螺钉固定有一对卷扬机,所述卷扬机与所述新膜固定转筒位置对应,所述无尘箱两侧内壁上通过螺钉固定有第一固定架。有益效果在于:采用静电吸附膜对光学镜片表面残余的灰尘进行吸附清理,可以避免清理灰尘时损伤光学镜片,一次可以完成一排光学镜片残余灰尘的清理,清理速度快,工作效率高。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 表面 残余 灰尘 去除 装置
【主权项】:
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