[实用新型]一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置有效
申请号: | 202120006734.6 | 申请日: | 2021-01-04 |
公开(公告)号: | CN214937789U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 张敏;刘小强 | 申请(专利权)人: | 洛阳微米光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;B08B6/00 |
代理公司: | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人: | 邢江峰 |
地址: | 471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及光学镜片技术领域,尤其是公开了一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,包括无尘箱,所述无尘箱内部固定有回旋输送链,所述回旋输送链上等间距固定有若干个夹持装置,所述无尘箱中部向上凸起,所述无尘箱凸起的腔体内顶部通过螺钉固定有一对新膜固定转筒,每个所述新膜固定转筒下方设置有一组导向装置,所述无尘箱底部通过螺钉固定有一对卷扬机,所述卷扬机与所述新膜固定转筒位置对应,所述无尘箱两侧内壁上通过螺钉固定有第一固定架。有益效果在于:采用静电吸附膜对光学镜片表面残余的灰尘进行吸附清理,可以避免清理灰尘时损伤光学镜片,一次可以完成一排光学镜片残余灰尘的清理,清理速度快,工作效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 表面 残余 灰尘 去除 装置 | ||
【主权项】:
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