[实用新型]一种镀膜基板的均匀控温装置有效
| 申请号： | 202120007805.4 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN214271034U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王同乐;王应发;林慧 | 申请（专利权）人： | 德润特数字影像科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 潘李亮 |
| 地址： | 100093 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种镀膜基板的均匀控温装置及方法。包括镀膜基板(6)，它包括固定结构、设有液体流道(4)的导热结构以及用于带动液体流道(4)内的液体循环流动的液体循环系统，所述镀膜基板(6)固定在固定结构内，所述固定结构设置在导热结构上，而且所述镀膜基板(6)与导热结构之间还设有密闭空腔，并且它还包括用于带动密闭空腔内的气体循环流动的气体循环系统。该装置采用气体、液体联动给镀膜基板降温，实现对镀膜基板均匀控温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 均匀 装置 | ||
【主权项】：
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