[实用新型]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置有效
| 申请号： | 202120033360.7 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN213876314U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 孙海轶;王成;王关德;李学红;邹家杰;刘科;冷雨欣;翟腾飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;山东爱特机电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00;H05B3/40 |
| 代理公司： | 山东济南齐鲁科技专利事务所有限公司 37108 | 代理人： | 郑向群 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 euv 光源 熔融 发生 装置 | ||
【主权项】：
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